[공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 마주향하여
페이지 정보
작성일 22-09-24 03:57
본문
Download : [공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서.hwp
복소 반사계수비(ρ)를 정이하면
이로부터 두 ellipsometry 각이 정이가 된다 즉,
따라서 Δ는 같은 위상으로 입사한 p-파와 s-파가 반사 후에 갖게 되는 상호간의 위상차이고 tanΨ는 그 반사계수의 크기 비이다.
측정(測定) 정밀도는 광학적 막두께에 다라 다르다. 이것들의 값과 굴절률 n 광학적 막두께 d와의 관계식은 제법 복잡하고 더구나 다양한 변수가 있기 때문에 여기에서는 省略한다.
㉠ Ellip…(省略)
[공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 마주향하여
[공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서 , [공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서공학기술레포트 , [공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서
레포트/공학기술
[공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 마주향하여
다. 막두께가 클 때에는 컴퓨터의 표시 값은 1차의 값으로만 표시된다
◆ Ellipsometer의 원리
우선, ellipsometry 각 (Δ, Ψ)에 대해 알아보자면, 편광방향이 입사면에 놓인 p-파와 입사면과 수직인 s-파에 대한 반사계수(rp, rs)로부터 ellipsometry 측정(測定) 값인 (Δ, Ψ)와의 관계를 유도한다. 그리고 δp(s)는 반사 후의 위상變化(변화)이다. 그러나 마이크로컴퓨터에 의한 측정(測定) 과 계산을 자동적으로 하는 측정(測定) 기가 시판되어 현재는 널리 사용되고 있다
투명한 박막과기판의 경계면에 반사하는 광의 반사율과 편광각을 측정(測定) 함으로써, 막의 굴절율과 광학적 두께를 동시에 구할 수 있다 기판재료의 굴절률을 알고 있지 않으면 안 된다
측정(測定) 하는 것은 기판에 입사하는 광의 입사면 내의 편광폭 t반사율과 입사 수치면 내의 진폭 반사율의 비 tanΨ 편광각도의 위상차 △이다.
대부분의 경우에 있어 ellipsometry의 운용원리는 다음과 같다.
![[공학]반도체%20공정%20-%20ellipsometer[엘립소미트리]에%20대해서_hwp_01.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B0%98%EB%8F%84%EC%B2%B4%20%EA%B3%B5%EC%A0%95%20-%20ellipsometer%5B%EC%97%98%EB%A6%BD%EC%86%8C%EB%AF%B8%ED%8A%B8%EB%A6%AC%5D%EC%97%90%20%EB%8C%80%ED%95%B4%EC%84%9C_hwp_01.gif)
![[공학]반도체%20공정%20-%20ellipsometer[엘립소미트리]에%20대해서_hwp_02.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B0%98%EB%8F%84%EC%B2%B4%20%EA%B3%B5%EC%A0%95%20-%20ellipsometer%5B%EC%97%98%EB%A6%BD%EC%86%8C%EB%AF%B8%ED%8A%B8%EB%A6%AC%5D%EC%97%90%20%EB%8C%80%ED%95%B4%EC%84%9C_hwp_02.gif)
![[공학]반도체%20공정%20-%20ellipsometer[엘립소미트리]에%20대해서_hwp_03.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B0%98%EB%8F%84%EC%B2%B4%20%EA%B3%B5%EC%A0%95%20-%20ellipsometer%5B%EC%97%98%EB%A6%BD%EC%86%8C%EB%AF%B8%ED%8A%B8%EB%A6%AC%5D%EC%97%90%20%EB%8C%80%ED%95%B4%EC%84%9C_hwp_03.gif)
[공학]반도체,공정,-,ellipsometer[엘립소미트리]에,대해서,공학기술,레포트
Download : [공학]반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서.hwp( 95 )
설명
순서
◆ Ellipsometer (타원평광해석)
타원평광의 해석은 응용 박막광학으로 확립되었으나, 그 후 논리해석이 복잡해서 숙련된 소수의 전문가 밖에는 이용 할 수 없었다.
그림: Polarizer에 의한 선형편광과 시편에 반사 후 발생한 타원편광
여기서 |rp(s)|는 입사파의 전기장의 세기(Eip(s))와 반사파의 전기장의 세기(Erp(s))의 크기의 비이다.
